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上海光机所官方的lpp光源进度

24年实现lpp光源IF功率**w（应该是几十w，预估50w左右），25年实现了光源整机的组装和调试，（根据阿斯麦光源功率2010年10w 2017年250w，推测国内2030前大概率能做到250w并量产），文中还提到了生产出徐小型dpp光源用于收集镜光刻胶掩膜版的验证工作，所以网上那些说光源是dpp和ldp的基本是瞎扯
https://siom.cas.cn/jgsz/glbm/cwglb/cwc/ysjs/index.html

路透社说的华为主导的ldp光源euv整机基本是瞎扯的，lpp光源才是正道，其他路线基本很难走通，只能做出小型的辅助验证光源，验证一下光刻机掩膜版这些

不感兴趣

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有这么详细啊,相当于这一路线光源系统全公开呀

图1左上角是 euv物镜和上海微电子标志，图2是长光所的早期euv物镜；综合来看大概率25年初各个子系统整合，25年底进行的euv整机整合，牵头的整机厂商还是smee，光源系统选用的是lpp光源，光源进度应该是最落后的，2028应该能实现整机if功率250w并商用

差不多，大概30年左右能完成euv正式量产进各大代工厂，研发芯片工艺，32年左右开始量产芯片

你这个表格根本没有说功率是多少

绩效目标表是申请预算用的，不代表实际进度。

2030年虽然很晚，但也算快了，看一下航空发动机做了三十年才算做出来

不感兴趣

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楼主也不想一想，国字第一号工程就被你这样泄密了吗？可能吗？

这个和传闻对的上了。也就是25年下半年出了一台样机，每小时只有10次的曝光能力。而同期的阿斯麦有250次以上的曝光能力。

宇量昇在完成了高端浸没式DUV研发后，也加入了LPP光源的研发，LPP EUV攻关由上微、上光所、宇量昇等主导

你看到个上光的进度就猜lpp是主流，和路透社猜华为的ldp有什么区别，都是靠自己歪歪脑补细节。上光lpp进度不怎么样，2024还在猎聘招人，不要脑补过多。多主体多路线攻关而已，你以为中国是家公司，哪个团队做了别家就不能动啊

今年1月份，张汝京接受日本媒体采访时透露，国产euv快则2年，慢则5年内完成，28-29年比较合理

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华科大官网上李波教授简介，已经做出了10kw级的高频脉冲co2激光器，最大障碍大概率已经解决了

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