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扩散泵工作液的要求及分类

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  扩散泵工作液对扩散泵的性能影响非常大,因而对泵的工作液提出以下要求:
  ①为了提高泵的极限真空度,泵液在室温下的饱和蒸汽压要尽量低。
  ②为了使泵能在较高的出口压力下工作,泵液在沸腾温度下的饱和蒸汽压应尽可能高。
  ③化学稳定性要好,无毒,无腐蚀,热稳定性要好,高温下不易分解,抗氧化性能要好,与大气接触时不会因氧化而改变泵液性能。

  泵工作液的分类
  早期扩散泵的工作液曾经用过泵类。目前较常用的扩散泵工作液为油类,通常可分为两种。
  ①石油类扩散泵液。这是石油产品经过高真空多级分馏得到的,如大连产1#、2#、3#油。这种油容易生产,价格低廉,但饱和蒸汽压较高,热稳定性、抗氧化性较差,容易分解。因此,不可避免地给真空系统带来污染。污染是由泵液分解物造成的,在扩散泵的油锅中由于高温、爆沸和金属催化作用,使高分子油裂化为轻的气体和碳氢化合物而生成的。它们限制了扩散泵的极限真空;影响了真空室内工件的质量。例如,这些污染物沉积在镀膜室内工作表面上,会造成膜层不牢等现象。
  ②有机硅树脂类扩散泵液(简称硅油)。这种泵液是人工合成的。它的蒸汽压低,抗氧化性能和耐高温性能良好,大气中可在250℃下长时间使用,真空中250~375℃下使用寿命很长。
  研究新型扩散泵工作液,改善扩散泵的性能是一项很有意义的工作。文章由广州泽德水泵整理有人设想,如果发明一种新的扩散泵工作液,能提高泵的抽速和极限真空度,同时又没有返流(返油)现象发生,可获得清洁超高真空,那么,这种泵将会比分子真空泵更受到人们的喜爱。


1楼2016-04-21 10:16回复