有机废气处理催化燃烧设备一般是使用空气进行脱附，空气脱附也可以达到脱附的目的。但是因为空气中含有易燃的气体，在脱附的过程中，如果控制不好温度，就会发生火灾。催化燃烧设备带有五道安全装置，虽然可以及时的扑灭火灾，但是使用氮气进行脱附是比较好的选择。
氮气的化学性质不活泼，常温下很难跟其他物质发生反应，不易燃。所以一般有实力的厂家会选择采用氮气进行活性炭的脱附。一般3万以下的小风量只需要氮气瓶即可，大于三万风量的需要配备制氮机。