原子荧光光谱仪基本组成包括进样系统，（氢化物发生系统），原子化器，光学系统，检测系统，数据处理系统。为了避免激发光源的辐射被检测，光照辐射和荧光检测轴成直角。各种仪器组装虽多少有些变动，但仪器结构已是至今制造各种原子荧光系统的基础。
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