靶材分类：
ITO靶材
钨靶材
半导体靶材
钛靶材
铜靶材
镀膜靶材
芯片靶材
钼靶材
硅靶材
平面靶材
各种镀膜靶材
颜色铬靶材
陶瓷靶材
磁控溅射靶材
一、各类靶材组件进口报关手续资料
1、进出口权；
3、产品信息：品名、数量、包装、重量及体积等；
3、装箱单、发票及合同等；
4、提供使用说明书、照片等信息等等。如果是木箱包装要提前做好熏蒸消毒。
二、各类靶材组件进口报关手续：
1、准备靶材清单、进口资料
2、安排进口口岸商检查货
3、出通关单
4、报关/审价
5、出税单/缴税
6、海关现场查验核对
7、提货送货上门
我国根据国内产业发展、技术进步等情况，对上述关键原材料、零配件类型适时调整，符合国内不能生产或性能不能满足需求的自用生产性原材料、消耗品，免征进口关税。