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白光干涉仪 大尺寸样品拼接测量 操作步骤

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自动拼接测量功能
操作步骤
1.点击XY复位,使得镜头复位到载物台中心
2.将被测物放置在载物台夹具上,被测物中心大致和载物台中心重合;
3.确认电机连接状态和环境噪声状态满足测量条件;
4.使用操纵杆摇杆旋钮调节镜头高度,找到干涉条纹;
5.设置好扫描方式和扫描范围;
6.点击选项图标,确认自动找条纹上下限无误;
7.点击多区域测量图标,可选择方形和(椭)圆形两种测量区域形状;
8.根据被测物形状和尺寸,"形状”栏选择“椭圆平面”,X和Y方向按需设置;
9.点击弹出框右下角的“开始”图标,仪器即自动完成多个区域的对焦、找条纹、扫面等操作。

大尺寸样品拼接测量


IP属地:广东1楼2023-03-01 15:21回复