JJF1105-2018触针式表面粗糙度测量仪校准规范
1.标准多刻线样板AUBAT-I800
U95：（3nm+0.02A)~ (5 nm+0.05A)注：A 为标准多刻线样板表面粗糙度参数 Ra的标准值，Ra 单位为μm。校准：示值误差、重复性、稳定性。
2.单刻线样板、单刻线标准样板AUBAT-IDX
3.长平晶AUBAT-L210或平面平晶1级