气相二氧化硅（简称气硅）是氯化硅烷在氢氧火焰中在1000°C或更高的温度下水解、燃烧程中形成的二氧化硅原生粒子相互碰撞形成二次粒子并形成长链而生成的带有表面羟基和吸附水的超微细白色粉末。