电容式压力传感器具有以下优点：
高精度与高灵敏度：电容变化与极板间距离等因素呈线性关系，能够对微小的压力变化做出精确响应，提供高精度的压力测量结果，可检测到极其细微的压力变化，适用于对测量精度和灵敏度要求较高的场合，如航空航天、精密仪器制造等领域
稳定性好：电容式压力传感器受温度、湿度等环境因素的影响相对较小，零点稳定性可达到 0.05% FS / 年，具有较高的长期稳定性，能够在不同的工作环境下保持稳定的性能，确保测量结果的可靠性
低功耗：通常只需要消耗较少的电能即可正常工作，这对于一些对功耗要求严格的应用场景，如便携式设备、无线传感器网络等非常有利，可以延长设备的使用寿命或减少电池更换的频率
宽测量范围：其测量范围较宽，可对 25Pa~70MPa 范围的压力进行测量，能够满足从低到高不同压力范围的测量需求，可适用于多种不同的工业和科研应用
良好的线性特性：输出信号与压力变化之间呈现出良好的线性关系，这使得测量结果的处理和分析更加简单方便，无需复杂的非线性校正，提高了系统的整体性能和测量效率
结构简单：主要由极板、电介质等基本部件组成，结构相对简单，易于加工制造，并且可以采用微机电系统（MEMS）技术等进行微型化和集成化设计，有利于降低成本和提高生产效率
寿命长：没有机械磨损等问题，不存在因摩擦等因素导致的部件损耗，因此具有较长的使用寿命，减少了设备的维护和更换成本
电容式压力传感器的缺点主要包括：
成本较高：由于其制造工艺相对复杂，对材料和加工精度的要求较高，导致电容式压力传感器的制造成本也相对较高，在一些对成本敏感的应用场景中，可能会受到一定的限制
温度敏感性：尽管电容式压力传感器的温度稳定性相对较好，但某些高精度测量的情况下，温度变化仍然可能对其性能产生一定的影响，需要采取额外的温度补偿措施来确保测量精度
抗干扰能力较弱：在强电磁干扰的环境中，电容式传感器的性能可能会受到影响，导致测量结果出现偏差，需要采取有效的电磁屏蔽等抗干扰措施来保证其正常工作5
需要校准：为了保证测量的准确性，电容式压力传感器需要定期进行校准，否则可能会出现测量误差逐渐增大的情况，增加了使用过程中的维护成本和工作量