四氯化三硅，化学式Si3Cl4，是一种超理化合物，其中含有-3价的氯，因此是强还原剂。
为与四氯化硅区分，也称低氯化硅（Silicon Subchloride），类比于低氧化物。
由于燃烧（Si3Cl4+3O2==3SiO2+2Cl2）后产生氯和二氧化硅，也称氯玻璃（Chloro Glass）。
由于可以在空气中自燃，工业上称为自燃硅氯。