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1半导体晶圆形貌厚度测量面临着表面反射、多层结构、透明层等特殊材料和结构的干扰。这些干扰因素可能会导致测量结果的不准确甚至错误。因此,需要开发出能够针对不同材料和结构进行测量的算法和技术,以提高测量的准确性和可靠性。 W1-pro 光学3D表面轮廓仪X/Y方向标准行程为200*200mm,可完全覆盖8英寸及以下晶圆,定制版真空吸附盘,稳定固定Wafer;气浮隔振+壳体分离式设计,隔离地面震动与噪声干扰。
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01一、什么是白光干涉仪 白光干涉仪是一种利用光干涉原理来测试光学器件质量、测量物体形状和表面粗糙度的工具。它采用弱凝聚的白色光源,有利于改善分辨率和测试结果的稳定性。同时,白光干涉仪可以用于预测视觉效果并提高光学系统的质量。 二、白光干涉仪的作用 1.测量光学元件的质量 白光干涉仪可以测量光学元件(如透镜、棱镜、光栅)的质量,通过检测光程差来检测元件的表面形状和质量。其中,光程差是指光线通过元件的不同路径,101白光干涉仪能否用于测量透明材料呢?答案是肯定的。对于透明材料来说,其特点是能够让光线穿过并且不发生明显的散射。透明材料的光学性质主要包括透射率、折射率、反射率等。白光干涉仪可以利用透明材料的反射、透射等光学特性来实现测量。它在测量透明材料时,一般会使用分束器将光束分为两束,一束垂直入射到待测透明材料表面上,另一束则绕过透明材料后与反射光相交,在干涉屏上产生干涉条纹。通过测量干涉条纹的间距及其变化,11可以。在实际应用中,白光干涉仪的测量对象可以是各种类型的材料,例如金属、陶瓷、塑料等。无论是同质材料还是非同质材料的测量,白光干涉仪的干涉图样分析和计算方法都可以提供准确而详细的测量结果: 1、同质材料具有相似的光学特性,因此可以采用简化的分析方法。利用干涉仪图样的分析,可以直接获得相关参数(如膜层厚度、表面粗糙度、膜层折射率等),从而得到准确的测量结果。 2、对于非同质材料,由于其光学特性的差异性,1101000000310003011白光干涉仪作为一种最精密的三维形貌测量设备,能准确测量亚纳米尺度的表面粗糙度。软件还能根据各种相关标准,进行表面形貌分析,获得多种参数,包括波纹度、翘曲等。 当粗糙度远小于入射波长时,散射率与Sq直接相关。然而当粗糙度较大时,二者的关系就不太明显。此时,散射率与样品表面斜率关系更大,需要用几何光学模型描述。布鲁克的软件提供了多种表面斜率分析功能,用于研究表面斜率与散射率的关系。除了提供全局斜率分布以外01143232